FABMOVER – Reinraum-AMR für Pod- und Kassettenhandling in der Halbleiterfertigung
SEMI-konforme Reinraumautomation mit KUKA KMR iisy und KUKA KMR iiwa. Entwickelt für die Integration in bestehende Halbleiterfertigungen.
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Robotergestützte Materialhandhabung für die Halbleiterfertigung
FABMOVER ist eine konfigurierbare Reinraumlösung für den automatisierten Materialtransport und die Materialhandhabung in der Halbleiterfertigung. Das System übernimmt Transport-, Logistik- und Handhabungsaufgaben für Reticles, FOUPs und Kassetten und integriert mobile Robotik, Maschinenkommunikation sowie anwendungsspezifische Automatisierungskomponenten zu einer durchgängigen Materialflusslösung.
Anwendungsbereiche
FABMOVER unterstützt ein breites Spektrum an Anwendungen in der Materialhandhabung für die Halbleiterfertigung – von einzelnen Transportaufgaben bis zur vollständigen Automatisierung des Materialflusses.
Pod-Transport
Reticle-Handling
Transportlogistik
Automatisierte Be- und Entladung
Tool-to-Tool-Transport
FOUP-Handling
Kassettenhandling
Stocker-Integration
Technische Planung der
Losabwicklung
Automatisierte Be- und Entladung
Je nach Anwendungsfall kann FABMOVER einzelne Transportaufgaben, die Interaktion mit Maschinen sowie komplette Materialflussabläufe unter Einbeziehung von Puffern, Lagersystemen und Produktionsanlagen automatisieren.
Konfigurierbare FABMOVER-Lösungen
FABMOVER ist in unterschiedlichen Systemkonfigurationen verfügbar und lässt sich an die Anforderungen verschiedener Halbleiterfertigungen anpassen. Je nach Anwendung kommen unterschiedliche mobile Roboterplattformen und Handhabungssysteme zum Einsatz.
FABMOVER KMR iisy
Kompakte mobile Roboterplattform für Pod-Handling, Materialtransport und automatisierte Handhabungsaufgaben.
FABMOVER KMR iiwa
Mobiler 7-Achs-Roboter auf einer omnidirektionalen Fahrzeugplattform für anspruchsvolle Handhabungsaufgaben mit hoher Reichweite und Flexibilität.
FABMOVER Shuttle
Kompakte Transportlösung für Materiallogistik und innerbetriebliche Transportprozesse.
FABMOVER Pod Öffner
Automatisierte Lösung zum Öffnen und Schließen verschiedener Pod- und Clip-Systeme. Als eigenständige Station oder integriert in FABMOVER-Prozesse verfügbar.
Software- und Prozessintegration
Die Softwareplattform von BEC Robotics koordiniert Transportaufträge, Materialflüsse, Pufferverwaltung und die Kommunikation zwischen Fahrzeugen, Maschinen und Produktionssystemen. Schnittstellen, Kommunikationsprotokolle und Prozesslogiken lassen sich projektspezifisch an bestehende MES-, ERP- und Fertigungssysteme anpassen.
Optionale Komponenten
FABMOVER lässt sich mit zusätzlichen Hardware- und Softwarekomponenten erweitern, um kundenspezifische Automatisierungsanforderungen zu erfüllen. Folgende Optionen stehen zur Verfügung:
RFID-fähige Puffersysteme, Intelligente Pod-Basen, Kameragestützte Handhabungssysteme, Anwendungsspezifische Greifer, Automatisierte Kapselöffnungslösungen.
Diese Komponenten unterstützen die zuverlässige Identifizierung, Positionierung, Verfolgung und Handhabung von Materialträgern und ermöglichen gleichzeitig die Automatisierung manueller Prozessschritte innerhalb der Materialhandhabung.
Brownfield- und Greenfield-Automatisierung
FABMOVER unterstützt sowohl Brownfield- als auch Greenfield-Automatisierungsprojekte. Vorhandene Maschinen, begrenzter Platz, manuelle Prozessschritte und proprietäre Softwareschnittstellen stellen oft Integrationsherausforderungen dar, die sich nicht allein durch Transportsysteme lösen lassen. FABMOVER kombiniert mobile Robotik, Softwareintegration und konfigurierbare Automatisierungskomponenten, um bestehende Materialflussprozesse zu automatisieren und den Anpassungsaufwand an vorhandenen Anlagen möglichst gering zu halten.
Überwachung und Diagnose
Das webbasierte Überwachungssystem von BEC Robotics liefert Echtzeitinformationen zu Fahrzeugstatus, Materialträgern und laufenden Transportaufträgen. Bediener und Servicepersonal können Transportprozesse überwachen, Systemzustände analysieren und die Fehlerdiagnose von Desktop-PCs, Tablets oder Mobilgeräten unterstützen. Simulations- und Wiedergabefunktionen erleichtern Inbetriebnahme, Optimierung und den langfristigen Anlagenbetrieb.
Integration und Standards
FABMOVER unterstützt Kommunikationsschnittstellen nach Halbleiterstandards, darunter:
SEMI E82
SEMI E84
Die Plattform lässt sich zudem in kundenspezifische Maschinensteuerungen, Kommunikationsprotokolle und Softwareumgebungen integrieren. FABMOVER ist darauf ausgelegt, verschiedene Technologien für mobile Roboter und Automatisierung zu unterstützen und dabei eine einheitliche Software- und Integrationsarchitektur beizubehalten.
Projekte
Ausgewählte Projekte aus der industriellen Automatisierung, die einen Einblick in unsere Robotik- und Automatisierungslösungen für unterschiedliche Anwendungen geben.
Verwandte Lösungen für Robotik und Automatisierung
Entdecken Sie ergänzende Lösungen wie mobile Robotik, Intralogistiksysteme und kundenspezifische Automatisierungstechnik für industrielle Anwendungen.
Industrieautomation
Individuelle Automatisierungslösungen für Industrie und Fertigung – von Robotik und Handhabungstechnik bis zur Integration kompletter Produktionssysteme.AGV / AMR
Autonome Transportsysteme für Industrie und Intralogistik – von kompakten Fahrzeugen für den Materialtransport bis zu Schwerlastlösungen für anspruchsvolle Fertigungsprozesse.MRP
Mobile Roboterplattformen transportieren Industrieroboter zwischen verschiedenen Arbeitsstationen und kombinieren die Flexibilität autonomer Transportsysteme mit der Präzision stationärer Robotik.
Mobile Manipulatoren
Mobile Manipulatoren kombinieren einen Roboterarm mit einer autonomen mobilen Plattform und ermöglichen flexible Automatisierungslösungen für unterschiedliche Produktionsaufgaben.und Produktionsaufgaben.
Häufig gestellte Fragen
Antworten auf häufig gestellte Fragen zu unseren Robotiklösungen, dem Integrationsprozess und unseren Projektmöglichkeiten.
FABMOVER ist das AMR-System (Autonomous Mobile Robot) von BEC Robotics für Reinräume, das speziell für Halbleiterfertigungsanlagen entwickelt wurde. Basierend auf der KUKA-Plattform KMR iisy oder iiwa automatisiert FABMOVER den Transport von Pods, das Handling von Kassetten sowie das Öffnen und Schließen von Pods. Dadurch werden manuelle Materialtransporte reduziert und wiederkehrende Handhabungsprozesse in Reinraumumgebungen automatisiert.
FABMOVER entlastet das Bedienpersonal von Routineaufgaben beim Transport von Pods und Kassetten. Manuelle Handhabung ist eine Hauptquelle für Kontaminationen und Handhabungsfehler in Reinräumen. Durch die Automatisierung dieser Bewegungen gewährleistet FABMOVER einen konsistenten, kontaminationsfreien Materialtransfer zwischen Anlagen, Load Ports und Lagerbereichen.
FABMOVER automatisiert den Pod-Transport zwischen Fertigungsanlagen und Lager, das Kassetten-Handling zwischen Load Ports und Anlagen, das Öffnen und Schließen von Pods sowie den Transport zwischen verschiedenen Fab-Bereichen. Es unterstützt die wiederkehrenden, hochpräzisen Materialbewegungen, die in Umgebungen der Wafer-Massenproduktion erforderlich sind.
FABMOVER ist für den Einsatz in anspruchsvollen Reinraumumgebungen konzipiert. Die Plattform, die Materialien und die Antriebssysteme sind so ausgewählt und validiert, dass die Partikelbildung minimiert wird. Dadurch ist das System für den Einsatz in anspruchsvollen Reinraumumgebungen der Halbleiterindustrie ausgelegt.
Während OHT-Systeme eine spezielle Deckeninfrastruktur benötigen, bewegt sich FABMOVER auf dem Hallenboden und lässt sich mit minimalen baulichen Änderungen integrieren. Dies macht FABMOVER ideal für die Nachrüstung bestehender Anlagen (Brownfield-Upgrades), für Bereiche, in denen OHT nicht realisierbar ist, sowie für den Transport zwischen OHT-Übergabestationen und Prozessanlagen.
Ja. FABMOVER unterstützt die Integration in Halbleiteranlagen und Fab-Automatisierungssysteme über branchenübliche SEMI-Kommunikationsschnittstellen, einschließlich SEMI E82 für den Transport innerhalb eines Fertigungsbereichs (Intrabay) und SEMI E84 für die Kommunikation mit Load Ports.
FABMOVER lässt sich über standardisierte industrielle Kommunikationsschnittstellen in das MES des Kunden sowie in Fab-Automatisierungssysteme integrieren. Je nach Anwendungsfall passt BEC die Kommunikation und den Datenaustausch an, um eine Integration in bestehende Produktionsabläufe zu gewährleisten.
Ja. FABMOVER unterstützt eine stufenweise Implementierung – beginnend mit einem einzelnen System für Transportaufgaben mit hoher Priorität bis hin zur Erweiterung entsprechend den wachsenden Produktionsanforderungen. Zusätzliche Systeme lassen sich schrittweise integrieren, sodass die Automatisierung parallel zu den Produktionsanforderungen mitwachsen kann.
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